お問い合わせ事例紹介

ポリマーや混合液など、粒子以外に散乱光を発する要因が存在する可能性があります。

対処法

以下の方法をお試しください。
・KE-40B1のCH1の粒径設定を変更する。（より大きな粒径を設定）
・より大きな粒径が測定可能なセンサを使用する。
・試料液体を希釈する。
・レジストなどの計測に適した器種（KS-41B、KS-41Aなど）を使用する。
・波高分析ソフトウェア(KF-50A)を使用してノイズレベルを確認し、最適な粒径から測定する。

静電気等によりノイズが高くなっている可能性があります。

対処法

付属の電源コードを使用し、プラグが接地された3極電源コンセントに差し込まれているかご確認ください。

フローセル内部に粒子が付着している可能性があります。

対処法

純水、エタノールそのほか通常測定している試料の溶剤を使用して、パージもしくは封入してください。

ブラシが付属している場合は、取扱説明書の記載に沿って洗浄してください。

メンテナンスが必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。
今後は使用時のパージエア導入やクリーンベンチなどでの運用をご検討ください。

点検校正・修理依頼

フローセル外部が汚染又は結露した可能性があります。

対処法

メンテナンスが必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。
今後は使用時にクリーンドライエアの導入やクリーンベンチ内などの清浄度が確保され、かつ結露しない環境での運用をご検討ください。

点検校正・修理依頼

水と油など混ざり合わせの悪い試料を流し、フローセル内部に膜ができてしまっている可能性があります。

対処法

膜の原因になっている液体と混ざる溶剤を導入してパージしてください。

薬液によりフローセルの表面がエッチングされている可能性があります。

対処法

フローセルの交換が必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。また、サンプルに対してセンサの再考が必要です。

点検校正・修理依頼

フローセルの表面が劣化している可能性があります。

対処法

フローセルの交換が必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

異物がフローセルに詰まっている可能性があります。

対処法

センサに接続されているIN/OUTチューブを逆に接続し、詰まりを流し出してください。

チューブ内壁が汚染または劣化しているため、粒子や気泡が発生している可能性があります。

対処法

純水、エタノールそのほか通常測定している試料の溶剤を使用して、パージもしくは封入してください。

新品のチューブに交換をしてください。新しいチューブをお求めの際は、微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

試料液体が空になり、空気が流れていた可能性があります。

対処法

配管に液体がないと水垢などができ、汚れてしまいます。純水、エタノールそのほか通常測定している試料の溶剤を使用して、パージもしくは封入してください。

最大粒子個数濃度を超えてしまっている可能性があります。

対処法

希釈可能な試料の場合は、希釈してください。

超音波洗浄機などを使用している場合、容器や器具の表面破壊が起きている可能性があります。周波数をご調整ください。

フィルタ通過後の試料液体を測定している場合、フィルタの破損や能力低下の有無を確認し、交換が必要な場合はフィルタをご交換ください。

測定直前に気泡や粒子が多く発生する工程がある場合、工程の変更もしくは測定のタイミングをご変更ください。

気泡などが多く発生し、粒子として認識している可能性があります。

対処法

以下の方法をお試しください。
・チューブ類の接続が緩んでいないか確認する。
・測定前に試料液体を静置し、容器の壁面部分を避けて試料を導入する。
・温度を下げる。（試料液体の温度が高いと思われる場合）

測定対象の粒径よりポアサイズの大きなフィルタで濾過している可能性があります。

対処法

フィルタを適切なポアサイズへご交換ください。

センサを再選定してください。

試料液体がレーザ光を透過しない可能性があります。

対処法

希釈できる試料液体を測定している場合は、測定可能な濃度になるまで希釈してください。

試料液体が試料液屈折率範囲外の可能性があります。
※一部の器種に試料液屈折率範囲を設けています。

対処法

試料液屈折率範囲は、取扱説明書や仕様書を参考にしてください。

センサの落下や強い衝撃が加わったことなどが原因で、光軸アライメントにずれが生じてしまっている可能性があります。

対処法

メンテナンスが必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

KS-20F、KS-19F、KS-18F/FX、KL-30A/AX、KS-41B等はレーザの予熱に時間がかかります。

対処法

暖機運転を実施してください。

設置環境を整えるため、クリーンベンチなどをご準備ください。

冬場の寒い時期など、レーザの温度が上がらずLASERランプが赤点灯になる場合があります。

対処法

暖機運転を実施してください。

設置環境を整えるため、クリーンベンチなどをご準備ください。

経年劣化による光源の出力低下、寿命、もしくは何らかの要因による故障の可能性があります。

対処法

メンテナンスが必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

本体の温度が上がっている可能性があります。

対処法

仕様書に記載された使用温度範囲内の温度になるよう環境を改善またはパージエアを導入してください。

密閉されている環境に設置している場合、換気を行ってください。

試料液体の温度をご確認ください。

環境の温度が著しく低い可能性があります。

対処法

暖機運転の時間を長くとってください。

温度の変化が少ない場所で保管・ご使用ください。

非常に粒子数の少ない試料液体を測定した可能性があります。

対処法

以下の方法をお試しください。
・より小さな粒径が測定可能なセンサを使用する。
・測定時間もしくはシリンジサンプラにて吸引する液量/測定回数を増やす。

液体と粒子との屈折率が同じか非常に近いため、散乱光が出ていない可能性があります。

対処法

より小さな粒径が測定可能なセンサを使用してください。

原理上測定ができない可能性があります。

レーザ光がサンプルに吸収されてしまっている可能性があります。

対処法

原理上測定することはできません。

詰まりや配管不良により、試料液体が流れていないため正常な散乱光が出ていない可能性があります。

対処法

パージを行ってください。製品にブラシが付属している場合は、取扱説明書に沿った洗浄を行ってください。

液漏れが起きていないか、継手などをご確認ください。

ポリマーや混合液など、粒子以外に散乱光を発する要因が存在している可能性があります。

対処法

以下の方法をお試しください。
・KE-40B1のCH1の粒径設定を変更する。（より大きな粒径を設定）
・より大きな粒径が測定可能なセンサを使用する。
・試料液体を希釈する。
・レジストなどの計測に適した器種（KS-41B、KS-41Aなど）を使用する。
・波高分析ソフトウェア(KF-50A)を使用してノイズレベルを確認し、最適な粒径から測定する。

フローセル内部が汚れてしまっている可能性があります。

対処法

純水、エタノールそのほか通常測定している試料の溶剤を使用して、パージもしくは封入してください。

ブラシが付属している場合は、取扱説明書の記載に沿って洗浄してください。

フローセル外部が汚れている可能性があります。

対処法

メンテナンスが必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡をお願いいたします。今後は使用時のパージエア導入やクリーンベンチなどでの運用をご検討ください。

点検校正・修理依頼

静電気等によりノイズが高くなっている可能性があります。

対処法

付属の電源コードを使用し、プラグが接地された3極電源コンセントに差し込まれているかご確認ください。

光源に問題が起きている可能性があります。

対処法

メンテナンスが必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

試料液体内の粒子数が多すぎるため数え落としが発生している可能性があります。

対処法

希釈可能な試料の場合は、希釈してください。

KE-40B1にてCH1の粒径設定をより大きな粒径にしてください。

累積値ではなく差分値を表示している可能性があります。

対処法

ボタンエリアの［CUMU/DIFF］を選択するごとに、測定値が CUMU（累積値）と DIFF（差分値）に交互に切り替わります（全粒径表示時）。

前回の測定時の粒子が残っている、もしくは置換途中の試料液体が残っている可能性があります。

対処法

粒子数の少ない液体でパージを行ってください。

ビーカーからのコンタミネーションやサンプリングチューブの付着粒子、配管内の汚れが原因である可能性があります。

対処法

粒子数の少ない液体でのパージ/洗浄を測定前に実施してください。

ノイズが原因で測定値が高くなっている可能性があります。

対処法

波高分析ソフトウェア(KF-50A)を使用してノイズレベルをご確認ください。

（インライン測定の場合）バルブを動かした場合に測定値が高くなる可能性があります。

対処法

可動部に溜まった粒子が流れてきた可能性があります。パージラインがある場合はパージを行ってください。パージラインがない場合は、測定値が安定したことを測定して確認し、本測定を行ってください。

気泡が発生している可能性があります。

対処法

継手に緩みがないかご確認ください。

サンプル内の気泡の有無をご確認ください。

（KL-30A等の場合）本体内の流路に気泡が残ることがあるため、パージをしっかりと行ってください。

試料液体の溶存酸素が高い可能性があります。

シリンジサンプラの設定で、試料流量が変わっている可能性があります。

対処法

使用するセンサの流量を取扱説明書や校正書類にて確認し、設定し直してください。

試料液体内の粒子が沈殿している可能性があります。

対処法

上澄み、底面などからの試料の吸引を避け、泡立たないよう撹拌してから測定してください。

試料液体の供給が止まっている可能性があります。

対処法

バルブが開いているかご確認ください。

メイン配管の圧力をご確認ください。

サンプリングチューブに異常がある可能性があります。

対処法

チューブが折れ曲がっていないかご確認ください。

接続しているチューブが外れているもしくは緩んでいる可能性があります。

対処法

再接続が必要です。液漏れしていないか確認し、液漏れが疑われる場合は直ちに試料液体の流れを止めてください。点検が必要ですので、微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

流量計が詰まっている可能性があります。

対処法

固着してしまっている場合、修理もしくは買替が必要です。
微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

粘度の高い試料液体が固まってしまった可能性があります。

対処法

溶剤などで溶かしてください。

物理的に何かにはまってしまった可能性があります。

対処法

試料液体によるパージを行ってください。

試料液体の吸引がされていない可能性があります。

対処法

以下をご確認ください。
・試料液体のボトルが空になっていないか。
・シリンジサンプラのチューブの閉め忘れがないか。
・シリンジの劣化がないか。

サンプリングチューブに異常がある可能性があります。

対処法

チューブが折れ曲がっていないかご確認ください。

接続しているチューブが外れているもしくは緩んでいる可能性があります。

対処法

再接続が必要です。液漏れしていないか確認し、液漏れが疑われる場合は直ちに試料液体の流れを止めてください。点検が必要ですので、微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

粘度の高い試料液体が固まってしまった可能性があります。

対処法

溶剤などで溶かしてください。

物理的に何かが詰まっている可能性があります。

対処法

試料液体によるパージを行ってください。

粘度が高い場合、継手やシリンジのプランジャから空気を吸引してしまう可能性があります。

対処法

試料液体を希釈して測定してください。

加圧することにより、気泡の発生を抑えることができる可能性がありますので、加圧サンプラの使用をご検討ください。

ルアーロックとシリンジとの固定が緩いと試料液体吸引時に空気を吸い込んでしまう場合があります。

対処法

取扱説明書の記載に従って、シリンジを締めこんでください。

プランジャとシリンジ内部が摩耗している可能性があります。

対処法

シリンジに気泡が多く入っている場合、正確な流量、容量が取れていない可能性が高いため、シリンジを新しいものに交換してください。シリンジをお持ちでない場合やご不明な場合には微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

ねじの締め込みが足りていない場合

対処法

工具を使うとねじ山が潰れてしまい、部品交換が必要になる可能性があります。手締めにて締め込んでください。動作確認は濡れても問題がない場所で、純水等で実施してください。

シリンジ交換を行う際に、ねじ山がつぶれてしまった場合

対処法

再度交換が必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。交換時はねじ山がずれた状態で無理に回さないようにしてください。

点検校正・修理依頼

シリンジ交換を行う際に、締め込みすぎてしまった場合

対処法

再度交換が必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。交換時は隙間をなくそうと無理に締め込まないでください。

点検校正・修理依頼

シリンジの横から重いものがぶつかった場合

対処法

シリンジ以外に、アームが曲がってしまった可能性があるため、点検が必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

プランジャとシリンジ内部が摩耗している可能性があります。

対処法

シリンジを新しいものに交換してください。

シリンジの材質がポリプロピレンであるため、試料が有機溶媒の場合、膨潤する可能性があります。

対処法

シリンジをガラスシリンジにご変更ください。

各器種の試料圧力範囲を超えている場合があります。
・KZ-30W1/30W2　…　49 kPa
・KZ-31W　…　100 kPa
・KL-05　…　50 kPa

対処法

試料圧力範囲を超えない構成にしてください。

減圧ユニットが未接続もしくは機能していない可能性があります。

対処法

未接続の場合は両端フレア加工のチューブを使用して接続してください。

減圧ユニットが機能していない場合はメンテナンスが必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

INLET/OUTLETチューブを挿す切替部分のワッシャーが無くなっている場合

対処法

ワッシャーを取り付けてください。新しいワッシャーをお求めの際は、微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

モーターの劣化により、適正な流量を維持できない可能性があります。

対処法

メンテナンスが必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

シリンジが傾いてついている可能性があります。

対処法

状態をご確認ください。

プランジャが傾いている可能性があります。

対処法

状態をご確認ください。

液のない、乾いた状態で吸引している可能性があります。

対処法

状態をご確認ください。摩耗が早くなってしまいますので、なるべく液のない状態で吸引することは避けてください。

接続ケーブルが抜けている可能性があります。

対処法

接続ケーブルを挿し、ネジで固定してください。

接続ケーブルが断線している可能性があります。

対処法

バッチシステムを複数お持ちの場合、同種ケーブルを付け替えて通信できるかお試しください。お持ちでない場合、微粒子計測器事業部　販売窓口までご連絡をお願いいたします。

微粒子計測器に関するお問い合わせ

シリンジセット取り付けねじが緩んでいる可能性があります。

対処法

シリンジセット取り付けねじを確認し、緩んでいる場合は締め直してください。

環境起因によって腐食している可能性があります。

対処法

酸系の環境では基盤が腐食し故障してしまいます。故障したものは修理が必要ですので、微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。今後はセンサ、コントローラ、シリンジを囲うなどの対策が必要です。

点検校正・修理依頼

経年劣化によって腐食している可能性があります。

対処法

購入後10年以上経過している場合、経年劣化により基板に不具合が生じている可能性があります。買い替えが必要です。微粒子計測器事業部　販売窓口までご連絡ください。

微粒子計測器に関するお問い合わせ

保護カバーのロックピンがしっかりとはまっていない可能性があります。

対処法

ゆっくり、確実に閉めて、爪がロック部分に入っていることをご確認ください。閉め直しても動作しない場合は、再起動が必要です。

接続ケーブルが抜けている可能性があります。

対処法

接続ケーブルを挿し、ネジで固定してください。

接続ケーブルが断線している可能性があります。

対処法

バッチシステムを複数お持ちの場合、同種ケーブルを付け替えて通信できるかお試しください。お持ちでない場合、微粒子計測器事業部　販売窓口までご連絡ください。

微粒子計測器に関するお問い合わせ

環境起因によって腐食している可能性があります。

対処法

酸系の環境では基盤が腐食し故障してしまいます。故障した場合は修理が必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。今後はセンサ、コントローラ、シリンジサンプラを囲うなどの対策が必要です。

点検校正・修理依頼

シリンジカバーのロックピンがしっかりとはまっていない可能性があります。

対処法

ゆっくり、確実に閉めて、爪がロック部分に入っていることをご確認ください。閉め直しても動作しない場合は、再起動が必要です。

シリンジの状態が正常に伝わっていない可能性があります。

対処法

シリンジカバーをゆっくり開閉し、KL-05を再起動してください。

環境起因によって腐食している可能性があります。

対処法

酸系の環境では基盤が腐食し、故障してしまいます。故障したものは修理が必要ですので、微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。今後はKL-05を囲うなどの対策が必要です。

点検校正・修理依頼

保持するための電力が足りなくなり、日時情報を保持できなくなった可能性があります。

対処法

電源を接続し、日時を設定してください。バックアップ充電池の充電のため、数時間は通電したままにしてください。頻発する場合はバックアップ充電池の劣化や基板の故障が疑われるため、点検が必要です。点検をご希望の場合は、微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

通信ケーブルに電気的ノイズがのっている可能性があります。

対処法

付属の電源コードを使用し、プラグが接地された3極電源コンセントに差し込まれているかご確認ください。

センサケーブルにほかの装置の電源ケーブルが載っていないか確認し、載っている場合はケーブルが重ならないようご移動ください。

センサとコントローラが接続されていない可能性があります。

対処法

接続ケーブルがしっかりと固定されているかご確認ください。

センサとの接続ケーブルが断線している可能性があります。

対処法

センサとの接続ケーブルの交換が必要です。微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼

センサ/コントローラの端子に異常がある可能性があります。

対処法

ケーブルの抜き差し、交換をしてください。症状が改善しない場合は端子に問題があることが考えられますので、微粒子計測器事業部　サービス窓口までご連絡ください。

点検校正・修理依頼