パーティクルカウンタの基本原理には光散乱方式と光遮蔽方式があります。
それぞれの特徴をご紹介します。
光散乱方式
インレットノズルから導入された試料に光（レーザ光）を照射します。試料内の粒子がレーザ光を通過した際に、粒子による散乱光が発せられます。 その散乱光をフォトダイオード（受光素子)で受け、電気信号に変換します。 電気信号の大きさから粒径を、散乱光を受光した回数から粒子数を算出します。 試料が液体の場合は、合成石英・サファイアで作られた粒子検出セル（フローセル）を用います。
光散乱方式センサ概略図
粒子信号と粒径、粒子数の関係
粒子が光を通過した際の電圧が各粒径の電圧しきい値を超えた際に、その粒径の粒子の個数としてカウントします。
光遮蔽方式
光源と受光素子を対面させ、光を電気信号に変換します。その光を粒子が通過すると、フォトダイオード（受光素子)が受ける光が弱くなります。電気信号の減衰量から粒径を、光が遮られた回数から粒子数を算出します。
光遮蔽方式センサ概略図
