微粒子計測器とは

パーティクルカウンタ(微粒子計測器)とは、気体中や液体中の微小な粒子を計測する装置です。

科学や産業の著しい発展につれ、気体中や液体中のごく少量の微小なチリが製品の品質や人々の健康に悪影響をおよぼすことが問題となっています。

製品の小型化、多機能化、高集積化がすすみ、より高い精度、品質、信頼性を要求される半導体、電子部品、高純度化学品などの先端産業分野においては、空気・超純水・薬品中の微粒子が製品の品質や歩留まりに悪影響を及ぼします。

大部分のバクテリアやウイルスは、浮遊粒子に付着します。そのため、細菌や他の物質の混入を防止しなければならない医薬品・製薬分野や除じん・除細菌対策を必要とする食品・飲料分野、高度の無じん・無菌空間を必要とする手術室をはじめとする医療設備などでも、清浄度の高い環境が要求されます。また、注射剤の製造過程では不溶性微粒子を測定することが法律化されています。

こうした清浄度とそのレベルの変化は微粒子濃度、粒径分布を計測することによってはじめて知ることができ、測定したデータに基づいて適切な処置と管理を行うことができます。これらの計測を行う装置として最も普及しているのが、パーティクルカウンタ（気中用、液中用）です。

最近では、いろいろなセンサの情報を含めて統合処理を行う清浄度多点監視システム（環境モニタリングシステム）の重要性が高まっています。