バッチサンプリング測定用
インライン測定用
パーティクルカウンタ
- 最小可測粒径
- 0.05 μm
- 試料流量
- 定格流量10 mL/minとパージ流量0.1～1 L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動）
- 最大粒子個数濃度
- 200,000個/ｍL（計数損失10 %以内）
パーティクルカウンタ
- 最小可測粒径
- 0.04 μm
- 試料流量
- 定格流量20 mL/minとパージ流量0.1～1 L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動）
- 最大粒子個数濃度
- 15,000個/ｍL（計数損失10 %以内）
パーティクルカウンタ
- 最小可測粒径
- 0.05 μm
- 試料流量
- 定格流量20 mL/minとパージ流量0.1～1 L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動）
- 最大粒子個数濃度
- 15,000個/ｍL（計数損失10%以内）
