パーティクルセンサ
多点監視用
KA-82
気中パーティクルカウンタ
0.1 µmからクリーンルームの常時・同時多点モニタリングが可能
- モニタリングポイントの設置・変更、レイアウト変更に柔軟に対応
- ポンプ内蔵型。各測定点に直接設置が可能
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ励起型固体レーザ（波長1064 nm） |
| 粒径区分 | 0.1 μm以上、0.15 μm以上、0.2 μm以上、0.3 μm以上、0.5 μm以上の5段階 |
| 定格流量 | 2.83 L/min |
| 最大粒子個数濃度 | 10,000個/L（計数損失5%以内） |
| 電源 | AC100 V～240 V、50/60 Hz、約100 VA |
| 大きさ | 約185（H）×155（W）×330（D）mm（突起物を除く） |
| 重さ | 約7.5 kg |
