0.08 µm、ハードディスク、スピンドルモータなどの発塵検査や高濃度環境の測定用
光学系方式 | 側方散乱方式 |
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光源 | 半導体レーザ励起固体レーザ(波長1064 nm) |
粒径区分 | 0.08 μm以上、0.1 μm以上、0.2 μm以上、0.3 μm以上、0.5 μm以上の5段階 |
定格流量 | 0.3 L/min |
最大粒子個数濃度 | 100,000個/L(計数損失5%以内) |
電源 | AC100~240 V、50/60 Hz、約90 VA |
大きさ | 約185(H)×155(W)×330(D)mm(突起物を除く) |
重さ | 約7.0 kg |