0.1 µm、28.3 L/min。スーパークリーンの評価、フィルタのリーク試験に
光学系方式 | 側方散乱方式 |
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光源 | 半導体レーザ励起固体レーザ(波長1064 nm) |
粒径区分 | 0.1 μm以上、0.15 μm以上、0.2 μm以上、0.3 μm以上、0.5 μm以上の5段階 |
定格流量 | 28.3 L/min |
最大粒子個数濃度 | 2,000,000個/m³(計数損失10%以内) |
電源 | AC100 V~240 V、50/60 Hz、300 VA |
大きさ | 約280(H)×320(W)×450(D)mm(突起物を除く) |
重さ | 約19.4 kg |