パーティクルカウンタ
インライン測定用

KL-28B(KS-28B+KE-28B)

液中パーティクルカウンタ

液体中の0.2 µm粒子を測定

  • 手のひらサイズの小型・軽量・高性能
  • 供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ
  • モニタリングソフトウェアとの組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能
  • セルに石英を採用
多点監視対応可
レジスト対応
インライン測定

仕様

光学系方式 側方散乱方式
光源 半導体レーザ(波長780 nm、定格出力40 mW)
接液部材質 合成石英、PFA、PTFE
粒径区分 0.2 μm以上、0.5 μm以上の2段階
定格流量 10 mL/min
最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内)
電源 AC100 V、約23 VA(KE-28Bより供給)
大きさ 約70(H)×85(W)×118(D)mm(突起部を除く)
重さ 約0.8 kg

オプション

ベローズサンプラ
K9904B(K9904D)
フローコントローラ
XL-24
マスフローコントローラ
MFC(CVR-PVC、CVR-1/4-P-FM)
標準個数濃度液
クリンテックス