超純水の0.04 µm粒子を監視
光学系方式 | 側方散乱方式 |
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光源 | 半導体レーザ励起固体レーザ(波長532 nm、定格出力500 mW) |
接液部材質 | 合成石英、フッ素ゴム、フッ素樹脂、PVC、パイレックスガラス、SUS304/316、POM |
粒径区分 | 0.04 μm~0.15 μmの範囲で2から10段階 出荷時:0.04 μm以上、0.08 μm以上、0.1 μm以上、0.15 μm以上の4段階 |
試料流量 | 定格流量20 mL/minとパージ流量0.1~1 L/minの合計(ただしパージ流量は試料圧力により変動) |
最大粒子個数濃度 | 15,000個/mL(計数損失10%以内) |
電源 | AC100 V~240 V、50/60 Hz、約130 VA |
大きさ | 約230(H)×385(W)×570(D)mm(突起部を除く) |
重さ | 約24.8 kg |