0.05 µm、超純水の粒子汚染を監視
光学系方式 | 側方散乱方式 |
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光源 | 半導体レーザ(波長830 nm、定格出力200 mW) |
接液部材質 | 合成石英、フッ素ゴム、フッ素樹脂、PVC、パイレックスガラス、SUS304/316、POM |
測定範囲 | 0.05 μm~0.2 μmの範囲で2から10段階 出荷時:0.05 μm以上、0.1 μm以上、0.15 μm以上、0.2 μm以上の4段階 |
試料流量 | 定格流量10 mL/minとパージ流量0.1~1 L/minの合計(ただしパージ流量は試料圧力により変動) |
最大粒子個数濃度 | 200,000個/mL(計数損失10%以内) |
電源 | AC100 V~240 V、50/60 Hz、約80 VA |
大きさ | 約230(H)×330(W)×569(D)mm(突起部を除く) |
重さ | 約19.8 kg |