パーティクルセンサ
バッチサンプリング測定用
インライン測定用
KS-41A
液中パーティクルカウンタ
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15 µmから測定可能
- 多点監視システムに接続可能
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ（波長830 nm、定格出力200 mW） |
| 接液部材質 | 合成石英、PFA |
| 粒径区分 | 0.15 μm～0.5 μmの範囲で10段階 出荷時：0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm以上の4段階 |
| 定格流量 | 10 mL/min |
| 最大粒子個数濃度 | 1,200個/mL（計数損失5%以内） |
| 電源 | DC12 V（KE-40B1より供給） |
| 大きさ | 約160（H）×300（W）×251（D）mm（突起物を除く） |
| 重さ | 約7.5 kg |
