マスフローコントローラ
液中パーティクルカウンタ用
MFC（CVR-PVC、CVR-1/4-P-FM）
オプション・周辺機器
インライン測定用マスフローコントローラ
- 供給ラインにおいてカウンタの後方に設置（本製品はサーパス工業株式会社の製品です）
仕様
| 流体 | 純水・薬液 |
|---|---|
| 流量 | 10～31.2 mL/min |
| 使用圧力 | 100 kPa～400 kPa |
| 大きさ | 約125（H）×185（W）×110（D）mm |
| 重さ | 約2.4 kg |
