微粒子計測器
(パーティクルカウンタ)
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仕様
流体
純水のみ
流量
10 ml/min
パージ流量
0.1~1 L/min
使用圧力
100~300 kPa
大きさ
約140.5(H)×89(W)×280(D)mm
重さ
約5.7 kg
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