クリーンルームなどの管理

クリーンルーム全体、特に清浄度が必要な部分、クリーンブース、装置内などの管理に気中微粒子計が使用されます。

KA-03を使用した装置内の清浄度管理の例です。

小型なKA-02であれば装置内に設置し、直接管理することも可能です。