事前にしっかりと洗浄した容器を準備し、純水で満たします。 容器内の純水を測定し、ターゲットとなる粒子数が０個、もしくは少ない値であることを確認します。 その後、付着した粒子数を確認したい部品を入れ、ピンセット、超音波洗浄機などを使用して、純水中に粒子を剥離させます。 超音波を使用する際、事前に容器や部品の表面を破壊しない周波数に調整することが重要です。また、使用するピンセットもしっかりと洗浄し、コンタミネーションを防ぐ必要があります。 洗浄を行った後、再度容器の中の純水を測定し、前後の値を確認することにより、どれくらいの粒子が付着していたかを確認することが可能です。 超音波を使用した場合や、泡立つほど部品を振った場合、純水中に気泡が含まれたり、容器壁面部分に気泡が付着する可能性がありますので、少し時間を置いたり、チューブが壁面や部品に触れないようにするといった対応が必要です。
